三星电子的附属企业Semes，一家专注于半导体和显示器生产设备的韩国公司，宣布其创新的“OmegaPrime”ArF-i浸润式光刻涂胶\/显影设备已在前一年完成首批交付。目前，该公司正致力于第二台同类设备的制造。Semes在成功研制KrF光刻技术的基础上，进一步拓展了其技术领域，推出了ArF光刻胶处理设备，旨在配合使用更短波长的先进光刻工艺，以满足半导体行业对更高精度制造的需求。这一发展标志着公司在应对技术挑战和推进光刻技术前沿方面取得了显著进展。